設備功能:用于100G及以上BOX光器件、矽光光模塊和DR光模塊的矩形微准直透鏡/彙聚透鏡的全自動耦合,可以自動完成亞毫米尺度透鏡的拾取、姿態調整、耦合、點膠及固化。具有光斑和功率多種耦合手段。 |
技術特點: |
?直線電機驅動,具有速度快(300mm/s)、精度高(25nm)的特點。 |
?基于光斑形位或功率的多維高精度調節,可用于各種小于1mm尺度的微透鏡耦合。 |
?具備芯片識別和定位功能,防止耦合過程碰撞芯片。 |
?耦合部分采用3維高速、高精度直線電機滑台加3維電動角度滑台,必要時角度滑台可參與耦合。 |
?高精度力反饋電動夾爪夾持,可實現微米級位移與克級的壓力控制。 |
?透鏡來料可以直接識別定位並拾取,避免人工倒料。 |
?智能耦合算法,最快可達2min一路耦合與固化。 |